①病毒 已经证明臭氧对病毒具有非常强的杀灭性，例如Poloi病毒在臭氧浓度为0.05-0.45mg/L时，2min就会失去活性。  ②孢囊 在臭氧浓度为0.3mg/L下作用2.4min就被完全除掉。  ③孢子 由于孢衣的保护，它比生长态菌的抗臭氧能力高出10-15倍。  ④真菌 白色念珠菌（candida albicans）和青霉属菌（penicillium）能被杀灭。  ⑤寄生生物 曼森氏血吸虫（schistosoma mansoni）在3min后被杀灭。
 
　　臭氧还可以氧化、分解水中的污染物，在水处理中对除嗅味、脱色、杀菌、去除酚、氰、铁、锰和降低COD、BOD等都具有显著的效果。  应当注意，虽然臭氧是强氧化剂，但其氧化能力是有选择性的，像乙醇这种易被氧化的物质却不容易和臭氧作用。
 
　　臭氧化法的主要工艺
 
　　O3水处理工艺类型很多，主要有以下几种类型：①O3+生物活性炭法，②O3+混凝法，③O3+活性炭吸附法，④O3+活性污泥法，⑤O3+膜处理法，⑥O3+超声波法。
 
　　O3+生物活性炭法主要过程是：先往水中投加臭氧，其强氧化性使复杂有机物分子断链成小分子，从而易于生物降解，同时提高了水中溶解氧浓度。然后再进入生物活性炭装置，易降解有机物被活性炭富集，经好氧微生物氧化分解为CO2和H2O等。该工艺的特点是臭氧预处理提高了废水的可生化性，有机物的富集和富氧提高了生化反应速度；活性炭上的有机物生物降解又可恢复活性炭吸附性能。
 
　　O3+混凝法基于O3对亲水性物质强烈的破坏力，当亲水性物质转变成疏水性时，混凝沉淀效果将大大改善。     O3+活性炭吸附法是指：由于活性炭微孔孔隙小，限制了对大分子物质的吸附，O3可破坏物质分子结构，形成小分子，增大活性炭吸附容量。
 
　　O3+活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高废水的可生化性。
 
　　在O3+膜处理法中，O3常用在超滤(UF)的后处理上。
 
　　在O3+超声波处理法中，超声功率的增大可增加反应速度，O3通人量增大可加深生物反应程度，提高复杂有机物去除率。